7月20日，由临汾市中小微企业发展中心主办，临汾市公共就业人才服务中心、临汾市工商联、尧都高新技术产业开发区、中共尧都区委组织部、尧都区人力资源和社会保障局、尧都区中小企业发展促进中心协办，网易·尧都双创科技园承办的第二届临汾网易杯2021年“创客中国”临汾市中小企业创新创业大赛暨创新创业人才交流会成功召开,临汾博利士纳米材料有限公司凭借“150~200mm半导体硅片化学机械抛光液的研发及产业化”项目，荣获“临汾网易杯”2021“创客中国”临汾市中小企业创新创业大赛二等奖。

本次大赛旨在为中小企业和创客提供交流展示、产融对接、项目孵化的平台，发掘和培育一批优 秀项目和优 秀团队，生新产品、新技术、新模式和新业态，提升中小企业专业化能力和水平，推动临汾市中小企业的发展。

我公司项目主要介绍用于抛第 一代半导体材料的：硅片抛光液。硅片抛光液是由二氧化硅溶胶、氧化剂、pH调节剂、表面活性剂、水等组成的碱性抛光液。利用抛光液中的化学物质与硅片表面进行化学反应，再由二氧化硅胶粒的吸附和机械摩擦作用，去除反应产物，从而达到去除晶片表面损伤层与玷污杂质的抛光目的。

在半导体衬底的生产制造过程中，化学机械抛光是实现衬底表面平坦化的关键工艺。化学机械抛光是将待加工工件表面朝下，以一定的压力压向抛光垫，在流动抛光液介质的条件下，借助于抛光垫和工件的相对运动，在纳米颗粒的机械磨削及添加剂的化学腐蚀作用下来完成对工件表面的材料去除，从而获得工件表面全局平坦化的技术，也是目前唯 一可以实现大规模生产的全局平坦化技术。